永鼎股份获得发明专利授权:“用于芯片生产的工艺参数控制方法及系统”

发布日期:2024-02-23 04:36    点击次数:99

证券之星消息,根据企查查数据显示永鼎股份(600105)新获得一项发明专利授权,专利名为“用于芯片生产的工艺参数控制方法及系统”,专利申请号为CN202311528981.2,授权日为2024年2月20日。

专利摘要:本发明公开了用于芯片生产的工艺参数控制方法及系统,涉及智能控制技术领域,该方法包括:获取目标芯片的N个划片工艺生产线;生成N个设备可靠性因子;生成N个监测划片质量数据集;进行偏移分析,生成N个质量偏移因子;确定预设划片工艺参数集;分别基于N个设备可靠性因子和N个质量偏离因子对预设划片工艺参数集的宽容阈值集合进行调整,获得N个调整宽容阈值集合;进行参数寻优,获得N个目标最优工艺参数集合;分别传输至N个划片工艺生产线的N个参数控制单元进行工艺参数控制。本发明解决了现有技术中存在芯片划片质量均衡性差,参数控制效率低的技术问题,达到了提升芯片生产中划片工艺的工艺参数控制质量的技术效果。

今年以来永鼎股份新获得专利授权10个,较去年同期增加了900%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了9925.12万元,同比增42.66%。

数据来源:企查查

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